柔性PZT壓電薄膜
高壓電特性的PZT材料能廣泛運(yùn)用于光電子學(xué)、微電子學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)和集成光學(xué)等領(lǐng)域。柔性材料特別適用于能量收集,在力學(xué)上可以測量應(yīng)力和應(yīng)變,在振動中可以制作加速度計(jì)和振動模態(tài)傳感器,在聲學(xué)上可以制作聲輻射模態(tài)傳感器和超聲換能器,在機(jī)器人研究應(yīng)用中可以用作觸覺傳感器,還可用于醫(yī)療器件上,如心臟起搏器的壓電式發(fā)電站等。